原理简介

当一束高能量电子束轰击试样时，将从试样中激发出各种电子信息和其它电磁波，包括透射电子和低能量损失的弹性散射透射电子以及二次电子，俄歇电子，背散射电子，特征X射线等多种信息。

分析型电子显微镜通过利用电磁透镜对透射电子的成像以及通过收集和分析二次电子，俄歇电子以及特征X射线，可在微区甚至直接在原子水平上对试样的组织形貌与晶体结构以及元素组成进行同位分析。

  电子束与固体样品作用产生的信号

目前已广泛应用于材料、生物、冶金、化工、地质等各个领域。

仪器组成及特点

本实验室分析电镜为日本电子公司生产的JEM-2000FXⅡ型高分辨透射电子显微镜，并配备有EM-ASID20型扫描成像系统以及牛津Oxford Link ISIS能谱仪。电子枪采用发叉式钨灯丝或六硼化镧（LaB6）灯丝组成的热阴极发射电子枪，最高加速电压为200kV。

在透射电镜工作方式下，点分辨率可达2.7Å，线分辨率可达1.4Å，放大倍数可达80万倍，可在纳米级或原子水平上直接观察试样的组织形貌和晶体结构。其配备的Oxford Link ISIS能谱仪可使本分析电镜同时对试样中原子序数在硼（B）以上的元素进行定性或半定量分析。

仪器同时配备有二次电子探头及透射电子探头，通过扫描成像系统可同时观察试样微区的表面形貌特征，是对试样微区组织结构，表面形貌及元素组成进行三位一体分析测试的最有效手段之一。

　　　　　　   透射电子显微镜光路图　　　　　　　　　　　　　　  分析电镜功能框架图　　　

主要应用方向

利用透射电子成像技术和选区电子衍射技术研究矿物的微观结构，晶格缺陷如双晶、位错、层错、物相界面、晶向关系等。

利用能谱成分分析技术研究矿石的显微矿物组分及Au、Ag、REE、Pt、分散元素等的赋存状态以及微米至纳米尺度下常微量元素的相关关系和空间分布规律。

利用扫描二次电子成像技术研究矿石矿物的微观结构构造及形貌特征。