概述

电子探针利用聚焦得非常细(微米-纳米级)的高能电子束轰击样品，激发出各种被测物质的有用信息如特征X射线，二次电子，背散射电子等，通过分析这些有用信息达到对样品微区成分分析和形貌观察的目的。电子探针与扫描电镜的结构大致相似，不同的是电子探针有一套完整的X射线波长和能量探测装置（能谱仪EDS和波谱仪WDS），用以探测电子束轰击样品所激发的特征X射线。由于特征X射线的能量或波长随着原子序数的不同而不同，只要知道了入射电子在样品中激发出的特征X射线波长或能量，就可以知道样品中所含的元素种类和含量，以此对样品微区成分进行定量分析是电子探针最大的特点。

本实验室电子探针为日本岛津公司生产的EPMA－1600型电子探针。此仪器不仅有较高的X射线检出角，同时由于使用全聚焦的X射线分光晶体，能兼顾X射线检测的高灵敏度和高分辨率，并配有高稳定的电子光学系统，真空系统及高精度机械系统以及EDAX公司生产的Genesis能谱仪，是目前最先进的微区成分定量分析和形貌观察的大型科研仪器之一。

　　　　　　　　　  EPMA－1600型电子探针　　　　　　　　　　　  电子束与固体样品作用产生的信号

仪器用途

适用于矿物、岩石以及材料(陶瓷，合金，半导体材料等）的微区化学组成定性和定量分析，微区化学组成线分析，微区化学组成面分析以及矿物、岩石和材料等的微区形貌观察、成分分布图像等，是对试样微区组织结构，表面形貌观察及元素定量分析的最有效手段。

仪器的性能特点

具有较高的X-射线检出角（52.5°）,有利于提高仪器空间分辨率和凸凹样品分析观察的可靠性。

分光晶体采用Johanson型全聚焦分光晶体，同一道波谱仪兼顾高分辨率和高灵敏度。

搭载有焦点反馈自动聚焦样品台(FFS)，为定量分析特别是自动批量定量分析的准确可靠性提供保证。

分析元素范围：⁵B―⁹²U；

电子束流稳定性：好于1.5×10^-3/H；

二次电子像分辨率：6nm。

样品台最小移动间距为0.01微米，机械系统精密度高。

可观察二次电子像（SEI)，背散射电子像(BEI)，吸收电子像，光学显微像，X射线面分布像等。兼顾微区成分定量分析和形貌观察。

配置五道波谱仪：分光晶体RAP/LSA70(1道)，PbST/LSA55(2道)，LiF/PET(3道)，LiF/ADP(4道)，LiF/PET(5道)，最大程度保证主元素分析外，还可满足轻元素B、C、N、O、F等元素的分析测试。

配备EDAX公司Genesis能谱仪，快速全元素定性/半定量分析，简单可靠。